| Dải nguyên tố phân tích được | Al(13)-Fm(100) |
| Số nguyên tố và số lớp mạ | 5 lớp (4 lớp mạ + lớp nền) mỗi lớp phân tích được tối đa 10 nguyên tố, tổng tất cả các lớp không quá 25 nguyên tố |
| Ống phóng tia X | 50 W (50 kV, 1mA) micro-focused tungsten palladium (loại target khác có thể tùy chọn thêm) |
| Bộ thu tín hiệu | Si-Pin detector, SDD detector độ nhạy cao (tùy chọn thêm) |
| Collimator | Φ0.1-Φ3 |
| Camera | High resolution CMOS color camera, 5 megapixels |
| Bàn mẫu XY thủ công | Hành trình di chuyển：50mm x 50mm |
| Bộ lọc | Bộ lọc sơ cấp cố định, có thể tùy chọn thêm loại nhiều bộ lọc |
| Kích thước buồng mẫu | 320mm × 480mm × 130mm（W×D×H） |
| Kích thước máy chính | 330mm × 580mm × 360mm（W×D×H） |
| Khối lượng | 40KG |
| Nguồn cấp | AC 220V±5V 50Hz |
| Công suất máy | 150W |
