Giới thiệu tổng quan
THS là hệ thống đo lường được sử dụng để đo chiều dày, độ sâu và chiều cao dựa trên phương pháp xác định tiêu điểm quang học. Hệ thống được kết hợp bởi 2 bộ kính hiển vi quang học trên và dưới, với khả năng lấy nét rất chính xác bằng việc sử dụng chỉ số lưới quang học. Dải đo độ dày lên đến 25mm bằng việc quan sát về mặt điểm đo qua chỉ số lấy nét lưới quang học (Target Mark).
Chỉ số lấy nét lưới quang học được hiển thị rõ ràng trên màn hình hiển thị. Qua đó mang lại kết quả đo với độ chính xác rất, độ tin cậy và độ chính xác lặp lại rất cao. Hơn nữa, kết quả đo cũng không bị ảnh hưởng bởi những người vận hành khác nhau.
Tính năng nổi bật
# Có thể đo được những đối tượng rất nhỏ
# Kết quả đo có độ chính xác cao với tính năng Targer Mark
# Dải ứng dụng rộng (Độ dày tối đa lên đến 25mm)
# Bên cạnh tính năng đo độ dày, còn có thể đo độ sâu, chiều cao và đo các thông số X,Y
# Thao tác vận hành cực kỳ đơn giản
# Đo được cả trên những mẫu vật trong suốt hoặc bán trong suốt
Thông số kỹ thuật cơ bản
Model | THS-10 | THS-20 | THS-206 | THS-208 |
Phương pháp đo | Manual | Tự động | ||
Kích thước mẫu | 4’’ (101mm) | 6’’ (152mm) | 8’’ (203mm) | |
Khoảng đo | X: 100mm Y: 100mm | X: 150mm Y: 150mm | X: 200mm Y: 200mm | |
Độ phân dải | 1µm | 0.1µm | ||
Độ lặp lại | - | 1σ=0.5µm |
Ứng dụng
# Trong lĩnh vực điện tử bán dẫn: lát silicon, khung dẫn điện
# Điện tử: mạch in PCB, IC
# Khác: Nắp non nước giải khát, tấm nhôm, băng dính từ, film ảnh
Thao tác đo
Bước 1: Di chuyển hệ thống quang học phía trên và phía dưới để đưa hệ thống về chế độ zero bằng cách quan sát lưới Target mark trên màn hình hiển thị |
Bước 2: Đặt mẫu cần đo lên bàn đo rồi điều chỉnh hệ thống quang học phía dưới. Đồng thời quan sát trên màn hình hiển thị khi đường phân giới của 2 nữa lưới Target Mark đã trùng nhau thì dừng lại. |
Bước 3: Điều chỉnh hệ thộng quang học phía trên đồng thời quan sát trên màn hình hiển thị khi đường phân giới của 2 nửa lưới Target Mark đã trùng nhau thì dừng lại. Khi đó, giá trị thay đổi dịch chuyển hiển thị trên màn hình của hệ thống quang học phía trên chính là giá trị độ dày cần đo. |